無(wú)塵車(chē)間內的氣流是左右無(wú)塵室潔凈度的重要因素,一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區域,易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無(wú)塵室潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí),能以最適當的風(fēng)速供應,以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。
無(wú)塵車(chē)間內部氣流速度,要根據無(wú)塵車(chē)間的用途來(lái)定,不僅受內部發(fā)塵量,還受到其他因素影響,就無(wú)塵車(chē)間工程而言,氣流速度的因素主要包括以下一些:
(1)對潔凈度要求低的無(wú)塵車(chē)間,有時(shí)換氣次數決定于室內排熱的要求。
(2)室內污染源:建筑物組件、人員數量及操作活動(dòng)、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大;
(3)室內氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線(xiàn),但會(huì )受到工藝設備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;
(4)末級過(guò)濾器的效率:在一定的室內發(fā)塵量下,可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較高效率的過(guò)濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積最小;
(5)自?xún)魰r(shí)間的控制要求:無(wú)塵車(chē)間中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對流氣流或人及設備的移動(dòng)等都會(huì )造成潔凈度的惡化,恢復到原來(lái)潔凈度的自?xún)魰r(shí)間決定于氣流速度;對自?xún)魰r(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內,對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;
(6)經(jīng)濟性考慮:過(guò)大的氣流速度造成投資及運行費用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過(guò)大往往不必要,亦不一定有效果;
空氣氣流方法:
一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn),應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區內部流向作業(yè)區,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
無(wú)塵車(chē)間內的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。